Описание: Основные возможности FilmElli: Решает обратную задачу эллипсометрии для: - любой длины волны излучения; - неограниченного числа опытных пар Psi и Delta, полученных при различных углах падения луча; - любого количества моделей (экспериментов с иммерсионными средами, с различными подложками, с разными толщинами неизвестного слоя и т.д.); - неограниченного количества искомых параметров (показатель преломления, экстинция, толщина) любых слоев; - любого количества слоев в модели покрытия. Предоставляет возможность введения в целевую функцию весового множителя, обеспечивающего более жесткое слежение за параметром Psi или Delta. Решает прямую задачу эллипсометрии с графическим представлением зависимостей Psi(fi) и Delta(fi) для экспериментальных пар Psi, Delta и рассчитанных по "предложенной" и оптимизированной моделям многослойного покрытия.
Версия: 2.16 Размер: 894.53 Kb      
Помещена: 23-Mar-2005 в архив программ. Число загрузок 427
Домашняя страница | Оцените программу | Сообщить о мертвой ссылке | Детали
Категория: Образование/